據南方財富網概念查詢工具數據顯示，光刻機行業龍頭有：

芯源微（688037）：光刻機龍頭股，國內唯一覆蓋前道涂膠顯影與后道封裝光刻設備的企業，技術對標日本TEL。行業地位：2024年國產光刻機配套設備市占率超60%，客戶涵蓋中芯、華虹等。增長潛力：先進封裝設備需求激增，訂單排期已至2025年。

2024年總營業收入17.54億（2.13%），凈利潤2.03億（-19.08%），銷售毛利率37.67%。

5月27日09時59分截止，芯源微(股票代碼:688037)的股價報93.740元，較上一個交易日跌1.32%。當日換手率為0.24%，成交量達到48.58萬手，成交額總計為4578.26萬元。

上海電氣（601727）：光刻機龍頭股，

2024年公司總營收1161.86億，同比增長1.21%；凈利潤7.52億，同比增長-6.33%；銷售毛利率18.13%。

5月27日09時59分，上海電氣跌3.74%，報7.700元；5日內股價上漲8.22%，成交額12.32億元，市值為1199.65億元。

三安光電（600703）：光刻機龍頭股，

公司2024年總營收161.06億，同比增長14.61%；凈利潤2.53億，同比增長-31.02%；銷售毛利率11.9%。

5月27日09時59分，三安光電(600703)今年來上漲4.85%，最新股價報12.750元，當日最高價為12.91元，最低達12.74元，換手率0.12%，成交額7442.82萬元。

光刻機行業股票其他的還有：

東材科技（601208）：5月27日09時59分，東材科技(601208)跌0.54%，報9.180元，5日內股價下跌4.21%，成交量112.74萬手，市盈率為45.9倍。

萬業企業（600641）：5月27日股市消息，萬業企業（600641）早盤報13.790元/股，跌0.72%。公司股價沖高至13.94元，最低達13.77元，換手率0.09%。

本文相關數據僅供參考，不構成投資建議，據此操作，風險自擔。股市有風險，投資需謹慎。